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15720490226半導(dǎo)體芯片廢氣煙塵凈化方案
半導(dǎo)體行業(yè)中使用的清洗劑、顯影劑、光刻膠、蝕刻液等溶劑中含有大量有機(jī)物成分，在工藝過(guò)程中，這些有機(jī)溶劑大部分通過(guò)揮發(fā)成為廢氣排放。其廢氣的主體是VOCs，同時(shí)廢氣中還混合了HCl、氨、HF等危險(xiǎn)污染物，分離和處理難度比較大。
廢氣特點(diǎn)：半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)線廢氣具有排氣量大、濃度小的特點(diǎn)。
某某電子廠車(chē)間生產(chǎn)的3條線產(chǎn)生的廢氣來(lái)源，處理風(fēng)量在30000，每條生產(chǎn)線都安裝了吸風(fēng)罩，采用噴淋塔吸收后進(jìn)入主管道到達(dá)風(fēng)機(jī)排放，該項(xiàng)目從制作到安裝總共花了25天周期，驗(yàn)收符合排放標(biāo)準(zhǔn)。
半導(dǎo)體企業(yè)車(chē)間會(huì)產(chǎn)生酸氣，那么半導(dǎo)體酸氣處理方法就采用堿液體噴淋法，又稱(chēng)化學(xué)洗滌法。因液體自身具有的溶解特性，可以更好地捕捉沉降，溶解去除污染物，而達(dá)到大氣排放標(biāo)準(zhǔn)，故噴淋法是半導(dǎo)體行業(yè)酸堿廢氣治理普遍采用的主要處理方法。
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