半導(dǎo)體制造行業(yè)廢氣凈化設(shè)備安裝

　　半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中主要成分為異丙醇、光刻膠等有機(jī)物，在工藝過程中，這些有機(jī)溶劑大部分通過揮發(fā)成為廢氣排放。

　　在某半導(dǎo)體企業(yè)的廢氣除臭設(shè)備的設(shè)計(jì)安裝中我公司采用了光解除臭設(shè)備其脫臭效率可99%，脫臭效果大大超過1993年頒布的惡臭物質(zhì)排放標(biāo)準(zhǔn)（GB14554-93），能處理氨、硫化氫、甲硫醇、甲硫醚、苯、苯乙烯、二硫化碳、三甲胺、二甲基二硫醚等高濃度混合氣體，內(nèi)部光源可使用三年，設(shè)備壽命在十年以上，凈化技術(shù)可靠且非常穩(wěn)定，凈化設(shè)備無須日常維護(hù)，只需接通電源即可正常使用，且運(yùn)行成本低，無二次污染。

　　采用吸附工藝技術(shù)，如何使用吸附工藝技術(shù)處理半導(dǎo)體廢氣？

　　吸附是利用多孔性固體吸附劑處理混合氣體，使其中所含的一種或多種組分吸附于固體表面上，達(dá)到分離的目的。吸附劑選擇性高，能分開其他過程難以分開的混合物，有效地清除（或回收）濃度很低的有害物質(zhì)，凈化效率高，設(shè)備簡單，操作方便，且能實(shí)現(xiàn)自動(dòng)控制。

　　半導(dǎo)體酸廢氣處理通常采用廢堿液體噴淋法，又稱化學(xué)洗滌法。對于含有酸性/堿性物質(zhì)的廢氣 ，半導(dǎo)體廠封閉車間大都采用大型廢氣凈化塔進(jìn)行廢氣處理。

　　沸石轉(zhuǎn)輪吸附濃縮裝置

　　沸石轉(zhuǎn)輪吸附濃縮裝置主要用于有機(jī)廢氣的治理， 特別適合于大風(fēng)量，低濃度場合。

　　TO直燃爐(催化燃燒裝置)：對大風(fēng)量、低濃度的VOCs廢氣，TO直燃爐一般會(huì)搭配沸石轉(zhuǎn)輪使用。

　　在很多半導(dǎo)體企業(yè)單一的廢氣凈化設(shè)備已經(jīng)不能夠解決其問題，就延伸出來組合式的廢氣處理工藝，目前在市場上，工業(yè)廢氣處理主要采用的是焚燒或者是吸附的方法，還有一種少見的熱氧化法，但是由于廢氣中的有機(jī)物會(huì)被氧化掉，所以只有在大流量、低濃度的氣體的情況下使用該方法。

　　更多關(guān)于半導(dǎo)體企業(yè)廢氣處理設(shè)備的設(shè)計(jì)安裝方案可以咨詢我公司技術(shù)人員。